【摘 要】
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碲锌镉（CdZnTe）阵列探测器是近年来迅速发展的新型半导体探测器,具有高空间分辨率、高能量分辨率和可在室温下工作的特点.介绍了碲锌镉晶体的物理特性和工作原理,并重点叙述了
【机 构】
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中国科学院紫金山天文台,中国科学院暗物质与空间天文重点实验室,中国科学院大学
【基金项目】
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中国科学院知识创新工程重要方向项目(空间科学预先研究项目);国家自然科学基金项目(11003051,11273070)资助
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碲锌镉（CdZnTe）阵列探测器是近年来迅速发展的新型半导体探测器,具有高空间分辨率、高能量分辨率和可在室温下工作的特点.介绍了碲锌镉晶体的物理特性和工作原理,并重点叙述了碲锌镉阵列探测器的制作工艺,包括晶片的预处理、钝化、欧姆电极制作、阵列模板选择、阵列封装工艺选择（微互联方式）.为了测试碲锌镉探测器性能,中国科学院暗物质与空间天文重点实验室和合作单位成功制作了4 pixel×4 pixel和8pixel×8 pixel碲锌镉阵列（厚度分别为5mm和2 mm,像素大小为2 mm×2 mm,间隙分别为0.15 mm和0.2 mm）.在137Cs放射源照射下,实验室利用自行研制的、基于ASIC（Application Specific Integrated Circuit）芯片的多通道电子读出系统,对4 pixel×4 pixel碲锌镉阵列进行了实验评估,首次获得了16 pixel的能谱以及对应的能量分辨本领,其最优分辨本领达4.8%@662 keV.
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