【摘 要】
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本文分析了影响扩散硅压力传感器稳定性产生的原理,并依据半导体理论,在工艺上采取了相应的措施。大大改善的传感器的稳定性,使我们生产的传感器稳定性达到国外同类产品的先
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所
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本文分析了影响扩散硅压力传感器稳定性产生的原理,并依据半导体理论,在工艺上采取了相应的措施。大大改善的传感器的稳定性,使我们生产的传感器稳定性达到国外同类产品的先进水平。
In this paper, the principle that affects the stability of diffusion silicon pressure sensor is analyzed. Based on semiconductor theory, corresponding measures are taken in the process. Greatly improving the stability of the sensor, so that the stability of our sensors to achieve the advanced level of similar foreign products.
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