1987年南京工学院电子工程系、电子学研究所、微电子中心申请专利

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序号专 利 名 称发 明 者申请号申请 日1半导体直接键合的表面处理方法吕世骇、阮宝松郭耀华、蔡耀明陆明莹、87工0593787.12.1287.12.292半导体直接键合的工艺方法童勤义、詹 娼孙国梁、徐晓莉871083143调谐激光器精密光栅转台齐宗鲁、于力行王文全、872000828720008987.1.587 No. 申请人 Inventor Application No. 申请 日 1 Surface treatment method for semiconductor direct bonding Lü Shihai, Ruan Baosong, Guo Yaohua, Cai Yaoming, Lu Mingying, 87 Gong Junyi, Zhan Xuan Sun Guoliang, Xu Xiaoli 871083143 Tuning Laser Precision Grating Turntable Qi Zonglu, Yu Li Xing Wang Wenquan, 872000828720008987.1.587
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