硅衬底上光CVD—SiO2薄膜附着力和应力的研究

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sam2009009
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本文研究了硅衬底上Hg敏化光CVD-SiO2薄膜的附着力和应力.结果表明,Hg敏化光CVD-SiO2薄膜与硅衬底附着良好,附着力大于6.3×108dyne/cm2(6.3×107Pa);这种薄膜呈现为张应力,应力小于5×109dyne/cm2(5×108Pa).
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