【摘 要】
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该文用分子动力学方法并选用Brenner势描述原子间的相互作用,从原子尺度研究了碳氢小分子在金刚石（001）表面化学吸附的动力学过程,并讨论氢原子在类金刚石薄膜生长初期阶段的作
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该文用分子动力学方法并选用Brenner势描述原子间的相互作用,从原子尺度研究了碳氢小分子在金刚石（001）表面化学吸附的动力学过程,并讨论氢原子在类金刚石薄膜生长初期阶段的作用.我们的研究表明,在室温下低能甲基较乙炔更容易在金刚石表面发生化学吸附;我们还发现碳氢小分子在金刚石（001）-（2×1）表面沉积生长薄膜的过程中,氢原子的注入提高了薄膜中SP<3>杂化碳原子的比例.该文的主要研究内容及结论如下：（1）通过入射能量在1eV到20eV范围的甲基分子与金刚石（001）-（2×1）表面相互作用动力学过程的模拟研究,我们观察到在室温条件下存在CH<,3>分子在金刚石表面上发生化学吸附的阈能E<,th>,甲基分子入射能量的大小对克服金刚石表面的势垒,形成稳定吸附结构至关重要.（2）在前面对单个甲基分子入射到金刚石表面发生化学吸附的研究基础上,我们研究了氢原子注入对低能甲基分子在金刚石表面化学吸附的影响.
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