随着国内外航空工业、医疗器械、汽车行业、军工武器、通讯行业等的迅猛发展,相应的设备以及产品正朝着微型化的方向发展,使得微细加工技术的应用变得越来越广泛,与此同时,人们对产品的要求如功能、外形、可靠性等逐渐的提高。微尺度加工具有高柔性、高精度、高效率等特征,不仅能够加工微小尺度特征的零件,还可以加工具有复杂三维形状或者复杂曲面的微小零件,是加工微型产品的主要方法。国内外许多学者对微加工技术特别是微切削技术进行了研究,但是微切削加工的加工机理仍然有许多不够清楚的地方,微切削加工中的最小切削厚度、弹性恢复、耕犁作用等对加工过程的影响特别是对表面质量的影响仍然值得继续研究。微铣削加工技术是微切削加工技术中最为重要的一种,具有较高的材料去除率和高的柔性,但是微铣削加工的表面质量并不理想；微磨削加工具有较高的加工精度,能获得较好的表面质量,其缺点是加工效率比较低,故本课题提出了一种能同时具有微铣削的高效和微磨削的高表面质量的加工工艺,即微尺度铣磨复合加工。本文主要从以下几个方面对微铣磨复合加工工艺进行研究。(1)分析微尺度铣磨复合加工材料去除机理,对加工过程中的存在的最小切削厚度、弹性恢复高度等建立数学预测模型；并分析微铣磨复合加工的瞬时切削厚度,以及加工过程中切屑不连续现象。(2)利用ABAQUS对微铣磨复合加工过程进行仿真研究,对微铣磨加工过程中切屑的形成过程和加工过程的温度场进行分析。(3)分析微尺度铣磨刀具的制备工艺,并针对实验需要进行改进,对制备的铣磨刀具进行微观观测分析,为实验研究做准备。(4)对铝合金6061、黄铜H62、20钢进行侧铣磨加工实验,分析各加工因素对表面粗糙度的影响大小及规律：对铝合金6061进行侧铣磨和槽铣磨加工实验以及槽铣削和侧铣削加工实验,根据不同加工参数绘制出表面粗糙度变化规律,分析槽加工和侧加工两种加工方式的不同,并对比分析铣磨加工和铣削加工表面粗糙度的优劣。(5)总结本文得出结论以及课题研究不足的方面,对本课题未来研究提出一些建议。