多维X射线衍射及其在纳米薄膜的应用

来源 :中国地质大学(北京) | 被引量 : 1次 | 上传用户:weishuange0l
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
纳米薄膜材料因其独特的尺寸效应在微电子和机械制造等领域具有广泛应用前景。准确获取薄膜结构信息是促进薄膜材料应用的重要课题。现有X射线衍射可靠度低,难以准确获取纳米薄膜材料的结构特性。为此,本文尝试发展适应于薄膜材料的多维X射线衍射。提出一种对称性纳米薄膜的三维X射线衍射测试方法和技术;对纳米掺硼金刚石(BDD,Boron-doped Diamond)薄膜和TiN薄膜进行应用研究,考察多维X射线衍射的可靠性,探究结构和性能之间的内在关系。(1)基于一维X射线衍射,提出一种多维X射线衍射方法。在一维X射线衍射基础上,增加方位角参量和衍射强度参量,构建多维X射线衍射方法,揭示新增维度的衍射意义。结合多功能数模,实现二维衍射仪六种扫描模式的统一,设计三圆X射线衍射仪进行三维衍射。(2)改进衍射仪样品架,提出一种多维X射线衍射技术。为应对现有对称性纳米薄膜应用研究的局限性,从成像技术和样品架制备方法两方面改进三维X射线衍射技术。依据薄膜晶体学特性,提出三维成像方法以提高衍射数据的准确性,改进样品架的腐蚀剂和粘结剂配方以降低衍射背底并提高使用寿命。TiN薄膜的三维衍射结果显示,该技术可以准确获取薄膜纵向维度的物相和取向信息。(3)通过纳米BDD薄膜和TiN薄膜的应用研究,考察多维X射线衍射的可靠性,探究结构与性能的内在关系。探究纳米BDD薄膜结构特性对其电化学性能的影响,制备电极同时检测Zn2+、Cd2+、Pb2+和Cu2+,优化工作参数,设计在线重金属检测仪进行现场试验,结果表明检测仪性能符合国标要求。综合考察了纳米TiN薄膜沉积工艺、结构特性以及力学性能之间的内在关系,揭示了超硬TiN薄膜的硬度增强机理。
其他文献
印度戏剧是世界三大戏剧体系之一,《沙恭达罗》是其最重要的分支古典梵语戏剧中最优秀也最有代表性的一个剧本。该剧受到西方的广泛欢迎,获得了世界级的声誉。与其它两大戏剧体
<正> 这是一座平常的小楼,两层灰色砖木结构的五十年代建筑。小楼默默矗立在南昌西郊望城岗上,楼前一棵金桂,一棵银桂,环绕小楼是一人多高的冬青。 小楼又极不平常,它记录了1
研究酶法提取海红果中总黄酮的最佳工艺及海红果黄酮粗提物对人宫颈癌HeLa细胞增殖作用。采用单因素试验考察纤维素酶、果胶酶、复合酶(不同质量比的纤维素酶和果胶酶)及酶解
在城镇化发展战略的同时,旅游开发与文化保护之间的矛盾将日益凸显。以福建永定土楼为例,研究世界文化遗产旅游与客家文化保护之间存在的问题,提出世界文化遗产旅游的开发应
利用ANSYS Workbench对通信机柜进行了模态分析,并用振型反应谱法对机柜结构进行抗震分析,从而得出机柜结构在一定频率范围内地震振动下的响应,评估了机柜结构的抗震性能,对
近年来食品科学与工程专业为高等院校中发展较快的专业,提高该专业本科生的科研实践能力,是培养高素质应用型人才的关键。提高食品科学与工程专业本科生实践教学水平,一是健
文章分析了气象业务服务的意义,重点阐述新时期如何做好县级综合气象业务工作,并提出相关的策略建议,旨在促进我国基层综合气象业务积极、有序地开展。
研制成功的小流量、高压热水循环泵,由于其工作参数高(压力100 kg/cm~2温度200℃),存在着轴向力平衡、热影响及轴端密封问题。因此,采用浮动式叶轮及单端面、流体动压式、平
利用黑龙江和吉林省的微观调查数据,运用多元有序Logistic模型对影响农户木耳生产规模的因素进行计量分析。结果表明:农户个人禀赋特征、农户家庭特征、农户认知特征和农户外
<正> 1996年底一本《数字化生存》的书悄然走红中国大地,其作者尼葛洛庞帝教授,是国际社会的一位著名的信息未来学家。他和他所领导的麻省理工学院的媒体实验室,在这个领域里