类金刚石(diamond-like carbon, DLC)膜具有许多优良的性能,可应用于风沙、盐雾等恶劣的环境中,但其激光损伤阈值(laser-induced damage threshold, LIDT)却非常低,这一特性严重制约着DLC薄膜在红外大功率激光系统、激光对抗及防护系统中的应用。采取适当的激光预辐照方法,可以使薄膜的结构发生改变,从而影响到DLC薄膜的激光损伤特性。本文采用磁控溅射技术分别制备了无氢和氢化DLC(a-C：H)薄膜,对其结构及性能进行了表征,研究了激光辐照前后薄膜结构及性能的变化：以接近损伤阈值的激光能量对无氢DLC薄膜进行了辐照处理,并对辐照前后的薄膜进行了光学性能、表面形貌及微观结构的测试分析,研究了激光辐照对薄膜的改性。采用激光能量密度不高于损伤阈值60%的激光辐照氢化DLC薄膜,研究了激光辐照对氢化DLC薄膜的表面粗糙度和LIDT的影响。研究结果表明：1、对于无氢DLC薄膜而言,当激光能量密度接近LIDT时,随着能量密度的增加,薄膜的消光系数增加,而透过率、折射率、LIDT降低。对拉曼光谱的研究发现,辐照后薄膜中sp3键转化为sp2键,表明DLC薄膜发生石墨化。随着激光能量密度的不断增加,石墨化程度不断加深。2、以能量密度接近LIDT的激光辐照无氢DLC薄膜薄膜表面的团簇形状变的不规则,闭簇尺寸变大,在基底上的分布均匀性降低,形成凸起和凹陷。激光能量密度越高,团簇形状越不规则,尺寸越大,分布均匀性越差,在薄膜表面形成凸起和凹陷越明显。3对于氢化DLC薄膜而言,当辐照激光能量密度为LIDT的20%、40%和60%时,三者对薄膜的透过率均无影响,的两者对薄膜的粗糙度和LIDT无影响,当能量密度增加到LIDT的60%时,J表面粗糙度明显下降,LIDT有所提高。