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根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上,可见与近红外波段400～1000nm及远红外波段7～11μm,镀制增透膜,要求平均透射率大于90%。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF_3作为高低折射率材料,利用最新OptiLayer软件三大模块的功能辅助,调整镀膜工艺参数,改进监控方法,减少膜厚控制误差,在多光谱ZnS基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段400～1000nm的平均透射率大于91%,远红外波段7～11μm的平均透射率大于9