单晶金刚石具有高硬度、高弹性模量以及优良的抗磨损、抗腐蚀和化学稳定性,在许多领域有着广泛的应用前景,如高精度表面切削加工工具、飞行器窗口材料及各种高科技产业用材料等。随着科技和应用的发展,人们对金刚石工具表面提出了更严格的要求。由于金刚石材料的脆硬特性,一般地,获得有形状要求的高精度及粗糙度值低的金刚石表面困难,因此开展金刚石的精密研磨技术研究,具有良好的应用前景和实用价值。　　 本文针对研磨过程中诸如金刚石硬脆材料经常遇到的问题,提出了一种基于弹性浮动状态下进行单晶金刚石研磨的加工方法,即令工件和磨具处于弹性浮动状态,在此状态下适当地设计和选择弹性系统的参数,达到有效地减小或降低传统加工过程中振动等不利因素的影响,实现金刚石表面的超精密加工。从不同研磨条件下金刚石的研磨表面质量差异处入手,通过分析造成不同沿研磨表面特征的研磨过程,研究影响单晶金刚石弹性浮动研磨表面质量的因素。实验研究了研磨速度和研磨压力对金刚石研磨表面质量的影响,得出了最佳研磨速度和研磨压力的范围,初步分析了研磨速度及研磨压力的增减对研磨过程中金刚石材料的去除特性的影响。目的是选择较好的研磨参数并为后续章节的研究做基础。在弹性浮动研磨过程中,弹性梁和研磨盘是直接和金刚石工件发生相互作用的构件,弹性梁和研磨盘的运行状况对金刚石研磨表面质量有直接的影响。　　 本文建立了研磨盘磨粒对金刚石工件的冲击力学模型,通过建模分析得出了参与研磨的微刃数越多金刚石工件所受冲击越小的关系,并通过实验加以验证。对弹性梁在研磨过程中所受冲击加以了划分,主要考察了弹性梁受轴向冲击和横向冲击时对金刚石研磨表面质量的影响,通过实验验证和理论分析证明了弹性梁受轴向冲击时在垂直于研磨盘盘面方向的振动要比受横向冲击时要强。目的是优化弹性浮动研磨的结构,减少研磨过程中的扰动因素。通过探讨研磨过程中金刚石研磨表面所呈现的不同加工特征区域,如表面凹坑区、表面解理区、表面光滑区等,来分析研磨过程中金刚石材料的去除特性。通过在特殊的研磨条件下,如粗研磨盘、进化后的研磨盘、以及弹性梁与研磨盘发生相互撞击作用的情形下,结合金刚石研磨表面的不同特征,得出了不同研磨条件下金刚石材料的去除特性以及不同研磨表面特征的形成因为,目的是优化研磨条件尽可能得到较为光滑的研磨表面同时减少研磨表面的缺陷。