本文针对影响划片机加工精度的最主要因素—气静压电主轴的热变形问题，系统的研究了主轴的热源及热传递，用有限元软件ANSYS分析主轴的热态特性及热变形规律，旨在找出减少主轴热变形的根本办法，提高划片机的切割精度。 本文首先分析了气静压电主轴的电机功率损耗发热、空气轴承气膜的剪切摩擦发热。应用传热学理论计算主轴电机冷却水、切割冷却水、主轴外表面及空气轴承排气时的热传递。在此基础上建立了气静压电主轴的有限元模型，用有限元软件ANSYS对主轴的热态特性及热变形进行了全面分析；研究了气静压电主轴的温度场分布及热变形规律。最后根据气静压电主轴的发热是由主轴电机的功率损耗发热和空气轴承的气膜剪切摩擦发热造成的；冷却水的流量及温度决定着主轴的对流换热系数；永磁式电机的转子不发热；空气轴承可通过O形橡胶圈加稳等结论。提出采用永磁式电机，将空气轴承的固定从传统的过盈配合改为O形橡胶圈加稳，裸露止推轴承的径向表面加强散热等低膨胀主轴的设计思路。 有限元分析对低膨胀主轴的验证表明：低膨胀主轴达到热平衡后主轴温度升高较小，各部分温度分布比较均匀，主轴的热变形小，是减小热变形的理想结构。 通过本文的研究找出了划片机气静压电主轴热变形ANSYS有限元分析的途径。设计的低膨胀主轴，对划片机的发展有极大的促进作用。