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长期以来,人们对薄膜生长过程的研究从实验到理论都做出了大量的工作。因为薄膜的原子尺度的生长过程会影响薄膜的各种应用性能,如光学性质、电学性能、磁学性能及催化性能等。实验上可以利用STM和AFM等来观察形成薄膜形成过程中原子的扩散等行为;理论上,利用计算机模拟薄膜的微观生长过程也有着重要的意义。因为一方面计算机模拟可以得到实验中无法观察到的某些过程,另一方面,计算机模拟可以很方便地改变薄膜生长过程中的各种参数如沉积温度、沉积速率、沉积粒子的入射角等,计算机还可用于研究实验上难以实现高沉积速率、高沉积温