【摘 要】
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钛酸锶钡(Ba1-xSrxTiO3，BST)薄膜，其厚度在纳米级到微米级，是一种典型的应用范围极广的铁电材料。在外加电压下，BST薄膜的介电常数易于调节，且具有高的调谐率。BST薄膜的调谐率是衡量其非线性的一个重要指标，对于微波调谐器件，例如滤波器和移相器等，是一种极具潜力的应用材料。微波调谐器件还要求BST薄膜材料具有非常低的损耗，因此，探索调谐率高且损耗低的BST薄膜具有非常重要的研究意义。本
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钛酸锶钡(Ba1-xSrxTiO3，BST)薄膜，其厚度在纳米级到微米级，是一种典型的应用范围极广的铁电材料。在外加电压下，BST薄膜的介电常数易于调节，且具有高的调谐率。BST薄膜的调谐率是衡量其非线性的一个重要指标，对于微波调谐器件，例如滤波器和移相器等，是一种极具潜力的应用材料。微波调谐器件还要求BST薄膜材料具有非常低的损耗，因此，探索调谐率高且损耗低的BST薄膜具有非常重要的研究意义。本论文主要研究溶胶凝胶(Sol-gel)法制备的镁钾二元交替掺杂Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的
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