钇钡铜氧感光凝胶薄膜的制备及性能研究

被引量 : 9次 | 上传用户：vivien2009

【摘要】

：

YBa_2Cu_3O_(7-x)(YBCO)高温超导薄膜是重要的超导材料,其中微细加工技术是YBCO薄膜应用于器件的关键环节之一。YBCO薄膜的制备方法很多,其中溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法可以和集成电路(IC)光刻工艺相互兼容,可以大面积涂敷,能精确地控制组分,无需复杂的真空设备,成本低廉,所以所以对于制备集成超导薄膜器件具有重要意义。本文旨在以无机盐为出发原料,采用Sol-Gel法制备YB

【作者】

：

薛人中

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2006年03期

【关键词】

：

钇钡铜氧溶胶-凝胶 Ba-TFA法化学修饰微细图形

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