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本文采用石英钟罩式微波等离子增强化学气相沉积装置,在柔性衬底铜衬底上沉积了附着性能良好的金刚石薄膜,详细研究了不同过渡层对薄膜附着性能的影响,研究结果表明:在铜基底上采用Ti-Al-Mo过渡层是提高金刚石薄膜附着力的有效方法。 本文还研究了不同粒度金刚石微粉丙酮溶液超声预处理、衬底温度、沉积时间等工艺参数对金刚石薄膜与铜基底的附着性能及薄膜质量的影响,通过优化工艺参数可以提高薄膜在衬底上的形核率,减小晶粒尺寸,提高薄膜质量。 提高金刚石薄膜与铜衬底