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作为一类重要的功能材料,钙钛矿结构氧化物铁酸锶镧(La_(1-x)Sr_xFeO_3,LSF)薄膜由于其稳定的晶体结构、独特的电磁、催化和气敏性等特点,可应用于催化剂、固体氧化物燃料电池、气体传感器、高温加热材料、磁性传感器等诸多领域,是目前国内外研究的前沿和热点之一。本文采用溶胶-凝胶法在Si(100)基底上制备了LSF薄膜,研究了溶胶的配比、热处理工艺、薄膜厚度、La/Sr比以及元素取代对薄膜介电性能的影响。采用正交实验法研究了溶胶配比对LSF薄膜性能的影响,即溶胶中无水乙醇/冰醋酸比