随着集成电路进入纳米工艺时代,工艺参数相对误差不断增大,导致集成电路的参数成品率明显下降。此外,更小的器件特征尺寸、更加复杂的器件模型和更大的电路规模显著增加了电路仿真时间成本,使传统基于电路仿真的成品率计算与优化方法的时间开销大到令人无法接受的程度。为了解决这些问题,本文研究了基于电路代理模型的成品率计算与优化方法。在电路参数成品率计算方面,本文提出了一种基于二阶响应曲面电路代理模型计算电路参数成品率的新算法,在计算精度和速度方面优势明显,适用于计算工艺参数众多的大规模集成电路的参数成品率。在电路参数成品率优化方面,本文提出了一种基于响应曲面代理模型的参数成品率优化方法,与传统基于成品率计算的优化算法相比,其计算量较小。上述方法结合电路实例进行验证,取得了良好效果,证明了其有效性。