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振动能是不受气候限制的可再生能源。压电振动发电为低功耗微电子产品,无线传感网中的传感器及MEMS产品供电,无需电网电源或更换电池,使振动检测点生命力持久,便于规模化组网。而压电振动发电的主要问题是能量密度和转换效率不理想,改善压电俘能的应力分布是提高俘能输出功率的一种方法。本文主要研究如何用应力调控的方法增强压电俘能器的输出电压和输出功率。首先,设计了通过微动台缩短单晶片两端距离实现应力增强的结构,初步验证了增加应力分布可以提高压电结构的驱动位移。其次,将应力调节方式进一步优化,设计了以不同