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近年来，纳米技术发展迅速，在诸多领域都得到了大量应用。而纳米技术在光电子、新能源以及催化剂材料等方面的研究，更展现出无限前景。如今纳米技术已经被诸多行业视为一项源头技术，正受到到越来越多的行业的青睐。在纳米材料的研究中，薄膜材料的地位一直举足轻重。因为薄膜材料有着多种优异性能，例如优异的光学性能、耐腐蚀性还有耐磨性能等等。不仅如此，物理气相沉积、化学气相沉积等灵活多样的制取方法也使得薄膜材料有着广泛的追捧者，因而也越来越需要可控的制备出满足特殊需求的纳米材料和纳米结构。要实现薄膜材料和结构的