980nm半导体锁模激光器及808nm半导体激光器阵列的研究

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半导体激光器具有先天的体积小、重量轻、寿命长等优点,一直是光电行业内研究的重点之一。近年来在半导体激光器方面的研究又主要集中在半导体锁模激光器、双光束半导体激光器以及半导体激光阵列等方面。本文针对时下研究的热点,并结合实验室的实际条件主要进行了一下几方面的研究:(1)在半导体激光器的基础上,结合锁模激光器的原理,制备了有可饱和吸收区的两段式半导体锁模激光器,通过外腔锁模半导体激光器测试仪的实验装置,对980nm半导体锁模激光器的重复频率、输出光功率及峰值功率与正向偏置电流、反向偏置电压做了系统的试验研究,并进行了相关的验证比较。(2)设计了一种新型的具有波长布拉格反射波导的边发射半导体激光器。实现了垂直方向上的双光束输出,在垂直方向上的±33.4°处有两束发散角为7°左右的激光束输出。对器件前后腔面镀膜后,在连续注入3A电流时实现了1.4W的功率输出,注入4A的脉冲电流时功率可以达到2.26W。器件在283K-343K的温度范围内对应的特征温度可达到91K。(3)对808nm无铝量子半导体激光器阵列在芯片结构、腔面膜以及阵列封装结构优化上进行了实验研究。提出了新型的窗口结构,提高了半导体激光器的COD阈值,改善了激光器的光束质量。分析了半导体激光器的最佳工作点的变化,在激光器腔面分别镀上90%和5%的反射膜时,获得了最高达1.63的斜率效率。对CS封装进行了优化,实验验证了在这种封装条件下10-13发光单元能获得相对较高的光电转换效率。
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