电容式薄膜应变计的研制

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应变计在各种零部件的力学性能以及力学行为研究中发挥着重要的作用。目前,应变计大部分是基于压阻效应,即电阻随应变的变化而成比例变化。电阻式应变计在高温环境下易氧化,稳定性、可靠性较差,不能满足航天、航空核电等领域高温环境下的应用需求。而电容式应变计的应变敏感介质一般采用介质材料,具有更好的高温稳定性和高温下抗干扰能力。本研究采用钛酸锶钡(Ba0.5Sr0.5TiO3,BST)作为电容应变计的应变敏感介质,由于BST的介电常数对应变敏感,有可能提高其应变灵敏系数。本论文通过射频磁控溅射镀膜技术和微细加工
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