石英摆式加速度计是目前飞行导航、重力测量、振动检测等领域上的关键装置之一。其核心部件是石英摆片。传统工艺流程加工形成的石英摆片已经有大量的应用。但是在高精度领域,石英摆片仍然存在面形精度不足,表面损伤和亚表面缺陷难以去除以及小面积面形精度难以提高的加工难题。本文围绕石英摆片的高精度低缺陷加工,对小束径离子束抛光工艺进行了研究,实现了石英摆片凸台平面度误差的降低。并对石英基片的表面损伤进行了分析,采用磁流变抛光工艺进行了损伤去除加工。论文的主要研究内容包括:1、结合石英摆片的工作原理和理论模型,研究了石英摆片加工质量对加速度计性能的影响。并根据石英摆片的材料特性,形状尺寸和现有加工方法分析了其在加工制造中的难点。2、为解决石英摆片加工中的难点问题,针对石英摆片的小尺寸特性提出了小束径离子束抛光工艺。分析了小束径离子束的加工能力和获取方法,设计了石英摆片及其基片适用于离子束加工的专用夹具。并结合定位补偿分析,去除函数分析,进行了石英摆片三凸台的加工实验,降低了石英摆片凸台的平面度误差,验证了小束径离子束抛光的加工能力。3、对石英基片的表面损伤特征进行了分析,提出了具有低加工缺陷特性的磁流变抛光方法,并进行了加工实验,实现了表面缺陷的去除和表面粗糙度的提升,验证了磁流变抛光工艺对石英基片的去损伤能力。4、针对石英摆片的加工难点和应用需求,结合小束径离子束抛光和磁流变抛光,提出了石英摆片的新组合加工工艺流程。为实现高精度石英摆式加速度计的制造提供良好基础。