【摘 要】
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目前PIII技术的理论和工艺技术日趋成熟,设备制造技术水平也达到相应的技术要求.但是,其智能化水平还很低,手工操作不仅工作量极大,容易误操作,而且无法设置工艺变化规律,难
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目前PIII技术的理论和工艺技术日趋成熟,设备制造技术水平也达到相应的技术要求.但是,其智能化水平还很低,手工操作不仅工作量极大,容易误操作,而且无法设置工艺变化规律,难以保证工艺参数的稳定性,镀膜质量受到影响.为了满足实验室现有的Model-3PIII机使用要求,该文详细分析了该机的工作原理、结构、工艺特点、操作规程,分析了该机控制技术以及存在的问题,提出采用以工业控制计算机、PLC为控制核心进行了该机控制系统的改进,设计了一套完整的PIII智能控制系统方案,并在阴极送进和气体质量流量控制方面完成了系统软硬件设计、系统组装调试和工艺试验工作,找出了阴极推进和气体流量控制规律,成功地制备出了多种梯度膜,获得了满意的控制效果.
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