本论文重点通过准分子气体气压、混合气体比例、放电频率、电压波形、电压幅值、DBD放电灯管结构等手段深入研究了XeI*准分子辐射，将有代表性的实验结果加以总结和分析讨论，并对实验现象给出相应的物理图像。 DBD激发XeI*准分子紫外光源，最大光电转换效率时的气压和I2/Xe气体配比分别为：300 Torr和0.3％。通过提高放电电压，或同时配合总气压升高，可获得更高放电功率和更高强度的准分子辐射，但光电转换效率下降。提高I2蒸气压，由于I和Xe**之间的潘宁电离效应增强，DBD放电由丝状——辉光模式向弥散放电模式过渡。 增大电极距离的同时，也增加介质阻挡层，即把灯管做成双气隙甚至多气隙层的结构，增加一层介质就增加了两个电荷积累表面，也就增加了表面放电的发光面积，能量密度相对降低，表面电荷之间的库伦相互作用及高能粒子与介质表面之间的相互作用相对减弱，热损耗降低。因此，通过增加气隙层数的方式增大电极间距，可提高放电功率却不会牺牲准分子紫外辐射光电效率。 高频、快上升/下降缘窄脉冲电压的DBD放电驱动双层气隙同轴圆柱形准分子光源，易于实现均匀的弥散放电模式，并且，有更大的介质表面放电面积，可获得高强度和高效率的XeI*准分子辐射。