硅微通道板由于本身特殊的三维结构而应用广泛,如电子倍增器件,生物分析系统,超级电容器,三维锂离子电池,以及三维传感器等。本论文研究工作主要分为两方面。第一方面主要研究了基于钯／镍／硅基微通道电极的双氧水传感器的制备。其中重点研究了采用无电镀、电镀方法制备该电极的原理及方法,并通过对钯／镍修饰的硅基微通道板电极的表面形貌及其对双氧水的电化学探测性能的分析研究,得出这种具备三维结构的电极对双氧水在0.1mol/L的氢氧化钾溶液中的氧化具有很高的催化活性的结论。在0.12V的测量电位下,钯／镍／硅基微通道板电极的灵敏度高达0.86mAmM-1cm-2,计算得到的检测下限浓度为7.6μM。检测线性范围高达27.5mmol/L,线性相关系数为0.99923。该电极还具有良好的电催化性能、响应快速、稳定性高和可重复性。第二方面主要探索了硅微通道板用于ZnO系半导体气敏器件的制作工艺。硅微通道结构微型化,孔道尺寸较小,在孔道内表面制备薄膜难度高。本文主要解决了利用溶胶-凝胶法在硅微通道内壁上制备均匀ZnO气敏薄膜的问题。研究了ZnO溶胶的特性,探索了ZnO溶胶在硅微通道内壁上均匀成膜的工艺技术。采用溶胶-凝胶法制备了ZnO溶胶,再通过加入HzO2提高溶胶的稳定性并改善溶胶的成膜性。实验所制备ZnO薄膜的厚度大约为0.03μm,该数值与经理论计算所得的氧化锌气敏薄膜的厚度10.29nm为同一数量级,基本达到了ZnO系半导体气敏器件制备的要求。