伺服阀是一种由阀套和阀芯构成的精密偶件,在航空航天、精密机械及仪器装置的自动控制系统中应用广泛。不锈钢是最常用的制备伺服阀阀套和阀芯的材料,不锈钢精密阀芯的尺寸精度、表面质量和表面网纹结构等对伺服阀的工作可靠性、寿命等性能具有重要影响。为了满足不同领域对精密偶件质量及性能的要求,通常需要对外圆磨削后的阀芯进行研磨或珩磨等终加工以获得具有特定质量和网纹结构的外表面。目前国内某企业在制造9Cr18不锈钢伺服阀精密阀芯的过程中,对精密磨削后的阀芯外表面进行手工研磨以改善其表面质量,形成交叉的网纹结构。手工珩磨阀芯的加工质量过度依赖操作工人的经验,加工质量不稳定,一致性差,生产效率和成品率难以保证,成为该单位精密阀芯加工中急需解决的瓶颈问题。针对精密阀芯手工研磨加工中的问题,本论文提出了采用自动珩磨代替手工研磨对磨削后的精密不锈钢阀芯进行终加工的方案,针对精密阀芯表面质量和网纹结构的要求对珩磨加工进行了运动学分析和仿真,研制了自动珩磨专用设备并进行大量的工艺试验,确定了合理的工艺过程和工艺参数。主要研究工作和结论如下：对外圆珩磨加工进行了运动学分析及仿真,建立了珩磨运动方程,得到了影响珩磨网纹重复性与完整性的条件关系,分析了珩磨网纹致密程度和网纹均匀性的影响因素和影响规律并进行了试验验证。珩磨加工中,可以采用同时增加往复次数(珩磨时间)和适当提高回转速度、减小珩磨网纹角度的方法在工件表面形成更致密的网纹,从而达到更好的网纹质量和表面粗糙度。研制了可用于阀芯外圆精密加工的自动珩磨机,通过协调控制工件自动回转、油石往复运动实现对阀芯外圆的自动珩磨,完全取代了手工研磨加工。该珩磨机可完成对直径Φ20mm以内,长度200mm以内阀芯轴的精密自动珩磨,通过对不同参数的设定,可按所要求的珩磨压力、珩磨速度等在工件表面形成不同角度的网纹。在所研制的外圆珩磨机上进行了不锈钢阀芯精密珩磨工艺试验,研究了珩磨加工条件和参数如油石磨料种类、磨料粒度、珩磨压力、珩磨时间、工件回转速度、油石往复速度等对工件表面粗糙度、材料去除率、珩磨网纹角度、网纹致密度等的影响规律,确定了合理的珩磨加工条件和加工参数。在本文研制的设备上采用所确定的合理工艺参数珩磨尺寸Φ15mm×100mm的9Cr18不锈钢阀芯,可稳定地获得Ra 18nm以内的表面粗糙度和特定的网纹结构表面。