网络化虚拟仪器测量系统在机械、电子、自动化、控制工程等众多工程领域中得到广泛的应用，有测量必然就会有误差的存在，对虚拟仪器误差的研究，将有助于自主开发虚拟仪器系统，改进测控方式，提高测控精度，特别在精密、超精密测控系统开发中具有重要的理论和现实意义。 本论文首先探讨了网络化虚拟仪器测量系统的构建模式及构成；分析了网络化虚拟仪器测量系统的硬件构成及相应误差源；研究了软件系统组成及软件系统中的计算误差、工程转换误差；分析了测量环境中噪声干扰的来源及其进入测控系统的耦合通道。通过分析可知网络化虚拟仪器测量系统是一个复杂系统，其众多误差源具有相关性。 接着探讨了网络化虚拟仪器测量系统的误差控制方式。分析了基于GUM的理论计算法，研究了利用软件技术控制误差的方法。本论文一方面肯定现有误差控制方法的实用性，并实际开发了数字滤波器，网络化相关分析仪，网络化功率谱分析仪等网络化测量仪器。另一方面指出这些误差控制方法的不足，因为现有测量条件可能无法满足以上要求。 论文提出一种基于系统工程分析方法的误差控制方法，该方法以测量系统的误差最小为目标，全面分析计算影响测量结果的评价因素，包括环境因素和测量人员因素，吸收众多现有误差控制方法，通过构建整体最优的测量系统，以便最大可能地降低系统中的误差值，实现系统最优和误差值最小。根据系统工程分析方法，本论文构建出用于测量系统误差源分析的误差树形图，提出基于模糊集合理论的用于测量系统优化选择的系统优化选择方法，并给出用于测量系统评价因素权重计算的AHP方法。 最后根据实验室现有条件，实际构建了基于虚拟仪器的三维振动分析仪，通过该测量系统的优化选择和误差控制证明了该方法的可行性、实用性。 本论文利用“软科学”中的系统工程分析方法，对网络化虚拟仪器测量系统中复杂误差源进行分析控制，这是“软科学”和“硬科学”相结合用于解决复杂实际问题的一次尝试，为网络化虚拟仪器测量系统误差控制方法研究提供了一种新思路，新方法。