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面对日益严峻的全球能源危机问题,太阳能作为一种清洁、可再生的能源备受关注。CdS薄膜与太阳光的光谱匹配较好、AZO薄膜在可见光范围内有高透过率和低电阻率等特点在太阳电池中具有广泛的应用。本文采用磁控溅射法在玻璃衬底上分别制备了CdS薄膜和AZO薄膜,并使用XRD、SEM、紫外可见分光光度计等测量仪器表征薄膜性能。通过研究衬底温度、溅射压强和溅射功率对薄膜性能的影响,得到最佳制备工艺。在单层薄膜的研究基础上,制备了AZO/CdS/P-Si太阳电池。本文研究发现,在0.44-5.1Pa压强下CdS薄膜都