SmCo永磁磁场对SEM成像影响及其微观分析研究

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自2:17型SmCo合金于上世纪七十年代被大量开发研究以来,其高的磁学性能、较轻的重量和较小的体积正顺应了我国高速发展的航空航天领域对于器件微型化,集成化的要求。同时由于SmCo永磁具有高居里温度,高温度稳定性,这些特性使得其高温环境下工作的永磁材料及器件的最佳候选者。但是因为当其在高温环境下长期工作时,表面会产生氧化层导致磁体以及器件性能下降,导致失效。所以针对SmCo永磁等磁性材料的微观失效分析以及分析手段研究是十分必要的,同时未消磁的磁性样品会对扫描电子显微镜(SEM)成像结果产生影响。本文针对SmCo永磁材料,分析了其长期高温有氧环境下的老化机理以及其磁场对SEM分析过程中的影响,主要工作如下。(1)磁性样品磁场会引起的SEM图像质量的显着降低,主要原因是电子轨迹受到洛伦兹力影响而偏转。本文利用未完全消磁的矩形SmCo永磁样品作为磁场源,以不同的磁场方向放置样品进行实验,结合相关理论以及COMSOL软件对磁场方向对SEM二次电子成像的影响进行了分析,给出了最佳观测方向并讨论了其原理。(2)研究了一种利用规则磁体的磁场,使得未配备背散射电子探测器的SEM可以在二次电子模式下获得类似于背散射图像的具有成分衬度的图像的方法。本文采用未消磁的SmCo永磁样品作为磁场源,利用SEM对表面有点状腐蚀的铜箔进行了观察,最终在二次电子模式下获得了具有较明显的成分衬度的图像,并通过理论分析以及COMSOL模拟,讨论了成分衬度产生的原因。(3)利用SEM、EDS以及XRD等微观分析手段对镀有Ni层的SmCo永磁在550°C空气气氛下长期老化0~5000 h的表面氧化层成分、形貌以及形成速度进行了分析。发现经长期老化的表面氧化层成分主要由Cu、Co、Fe的氧化物组成,并讨论了不同氧化物的形成顺序与机理。同时得到了氧化层增厚的速度呈现先快后慢的特征,符合Wanger公式,其主要原因是氧化层本身的增厚对氧气的阻隔作用。
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