无论设计、制造或使用传感器,都希望输出量和输入量间具有线性关系,而对于实际应用来说,其输出量与被测量之间的关系大多是非线性的,为了达到提高传感器精度目的,必须对传感器的非线性特性进行补偿。电感微位移传感器是一种建立在电磁感应基础上,利用线圈的自感或互感系数的改变来实现非电量(主要是位移)测量的低成本、高精度测量仪,因为其分辨力高、使用寿命长、工作性能稳定,应用于微位移测量己经有很长的历史,进行高精度微位移测量时选用电感位移传感器已经成为一种共识。本文对基于ARM的电感位移传感器非线性补偿系统的硬件和软件进行了较全面的论述。首先,针对电感位移传感器数据处理量大、实时要求性高的特点,确定采用嵌入式处理芯片PXA271作为处理器,并根据实际需要确定性能指标;然后,针对电感位移传感器在大范围内线性度差的问题,通过对常用的非线性补偿方法进行比较,在详细研究传感器特性曲线的基础上,选用分段多项式拟合的方案进行补偿;在此基础上,对嵌入式应用软件设计给出了详细的设计流程和分析说明,最后,对设计的系统进行实验和数据分析,处理的结果满足设计的性能指标,说明分段多项式线性拟合的方法在解决电感微位移传感器非线性问题上是可行的。本课题通过软件对电感位移传感器进行分段非线性补偿,达到了线性化的目的,并为该系统更加通用化打下基础。