国内外对介质阻挡放电的研究表明，体相放电作为介质阻挡放电的一种典型形式，在臭氧发生器领域一直进行工业应用，具有比较成熟的技术和广泛的研究基础，而对本文所述的表相放电中的微电极介质阻挡放电的研究却较少。　　本文针对这一问题，首先以前期的线管介质阻挡放电的实验结果为依据，并对其进行分析，从而得出了一种设计思路，利用印制电路板工艺和激光打孔技术试制微电极介质阻挡放电结构。然后，从实验入手，搭建了微电极介质阻挡放电的实验平台，以试制的微电极结构为基础，运用电学手段从宏观方面去揭示其电气特性，研究分析了它的放电起始电压、放电电流的基本特征以及放电时微脉冲的个数、幅值和持续时间与外加电压的关系，探讨了微电极介质阻挡放电的放电机理，并对微电极介质阻挡放电结构的等效电容进行了计算，建立其等效电路模型。同时，为了更好的探索它的放电特性，与体相放电的板-板型介质阻挡放电结构的电气特性进行了对比，分析了两者之间的同异之处。　　电学实验手段仅能测得微电极介质阻挡放电的宏观特性，而其放电过程、电子密度分布等微观特性很难得知。本文又对微电极介质阻挡放电模型的数值模拟仿真进行了理论上的研究，分析了它的模型控制方程和边界条件等，并运用有限元分析软件COMSOL Multiphysics对其进行了初步的仿真，分析它的电子密度分布、电流密度等微观特性。