离轴非球面反射镜检测方法的研究

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随着非球面的广泛应用,非球面的检测也显得尤为重要。本文针对多种类型的非球面镜开展其检测方法的研究,如离轴凸抛物面,离轴凹抛物面,离轴凸双曲面,离轴凹双曲面,离轴凸椭球面,离轴凹椭球面。主要通过无像差点检验和补偿法检验对不同的类型的非球面的检测方法进行研究,并使检测方案满足目前采用的ZYGO干涉检测或4D干涉检测。以口径为φ220mm,离轴量为225mm的离轴凸双曲面反射镜为例,介绍了双曲面镜的几种检测方案,根据实际情况,选用离轴Hindle球检验方案。基于三级像差原理以及非球面的特性,计算及推导离轴非球面检测光学系统的初始解,利用Zemax光学设计软件进行优化,给出设计的最终结果,搭建检测光路,并将这些设计参数应用于实际的镜面加工中,使用基于动态的4D干涉仪进行检测,得出干涉图,经过误差分析保证检测光路的测量误差在允许的误差范围内,最终凸双曲面镜的RMS为0.0199入达到期望的结果。
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