近些年来,人们对AFM(原子力显微镜)的研究越来越多,尤其是AFM从测量领域扩展到加工领域以后,利用AFM进行微纳米结构的加工研究,已经成为微纳米加工中重要的一个研究领域。目前,小范围内基于AFM微纳米结构加工方法的研究已经相对成熟,但是由于AFM自身压电陶瓷具有迟滞性、非线性,限制了它的加工范围,基于此,实验室已经搭建了一套AFM和高精度二维工作台的新型大范围纳米加工系统,利用这套系统进一步研究,以便于可以利用AFM加工更多大范围微纳米规则结构,对进一步扩展AFM的应用具有很大意义。本论文就是利用已经搭建起来的新系统,对大范围微纳米聚合物结构的加工进行研究,首先,在小范围内对两种聚合物PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)和PC(聚碳酸酯)的加工,利用单因素实验和正交实验相结合的方法,主要对力、进给量、加工方向和速度几个参数进行参数优化,加工的结构主要是纳米线结构以及微方坑结构。然后,针对AFM自身加工的局限性,对AFM自身程序进行开发,并且实现AFM与工作台联合控制。将AFM与二维工作台通过串口通信,并对工作台进行VB编程通过工作台指令实现对工作台的控制,然后将AFM与工作台通过主机利用VB程序联合控制,以实现更多复杂结构的自动化加工。最后,进行如何实现更好的一致性加工结果进行研究,通过PID调节等解决工作台振动问题,通过大量大范围实验研究针尖磨损以及针尖对软样品的粘结,并对加工结果进行分析,探索出大范围加工过程中微纳米结构变化的规律和针尖磨损的影响,并针对研究结果在加工过程中进行补偿,最终可以实现一致性很好的大范围微纳米聚合物结构的加工。