氮化铝薄膜生长动力学模型与模拟研究

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【摘要】

：

AlN材料以其高禁带宽度、击穿电场强、热导率高和高紫外透过率等优越的物理、光学和电学性质,在大功率器件、耐高压器件、高温器件和紫外光电器件等领域得到了非常广泛的应用。虽然MOCVD方法是生长高质量AlN薄膜的主流技术,但其生长动力学机理与生长模型等理论研究远落后生长实验研究。基于Grove理论和KMC方法,本文进行了MOCVD生长AlN薄膜的动力学模型建立与模拟研究,并将模型模拟结果与实验数值进行

【作者】

：

李津南

【机构】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

：

2015年12期

【关键词】

：

氮化铝金属有机物化学气相淀积生长动力学模型及模拟 Grove理论动力学蒙特卡洛方法

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