光学元件边缘效应收敛研究

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近年来,人类随着对宇宙的不断探索,对空间光学系统及高分辨率望远系统的需求也与日俱增。根据光学理论,光学系统的角分辨率与波长成正比,与通光孔径成反比,所以增大望远系统的口径成为获得高分辨率成像效果的直接途径。那么,望远系统中的关键部件大口径反射镜的制造方法就显得极为重要。光学元件由于受到材料、加工设备、运输等因素限制,最大可以加工到直径8m。在此背景下,研究人员提出了镜面拼接技术。而子镜面的边缘效应能否得到收敛,是镜片拼接技术的关键。本文对子镜面拼接技术中的正六边形光学元件进行边缘效应收敛的预抛光研究,旨在去除光学元件边缘效应,提高后序抛光效率。本文首先对光学元件表面误差的分类及检测方法进行了说明,其次以Preston假设为理论基础,建立了机器人抛光的平转动运动下的模型以及驻留时间的求解方法,对边缘效应进行了分析。建立了边缘效应模型,制定了适用于正六边形光学元件边缘效应收敛的工艺方法。最后对影响边缘效应的磨盘压力、磨盘转速、抛光粉粒度及磨盘的露边量等4个因素中的每个因素设置了2个水平进行了部分析因设计,通过实验分析,得出了磨盘的压力对边缘效应的收敛不起显著作用的结论。再次对除磨盘压力外的3个因素进行了全析因设计,通过分析,确定了抛光粉粒度对边缘效应的收敛起显著作用,建立了边缘效应与这3个因素之间的多元线性回归方程。最后,通过确认实验,验证了分析的准确性。
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