工业机器人作为自动化生产的重要装备,随着生产水平的不断提高,对工业机器人的快速定位能力要求也越高。一方面,工业机器人广泛采用谐波减速器、同步带等柔性传动部件,由此引起高速轨迹运动下机器人末端的振动。另一方面,在工业生产中,机器人不可避免地需要操作柔性负载进行作业,柔性负载的低频振动严重降低了生产效率。本论文针对以上两种振动场景,设计了兼顾有效性和实用性的振动控制方法。本论文采用双惯量模型描述柔性关节,考虑重力项和摩擦力矩而忽略科氏力,建立了前三关节的柔体动力学方程,由于大部分工业机器人仅配置了电机位置和电机力矩传感器,通过变量代换消去不可测物理量,获得可辨识的线性方程,进而给出基于最小二乘的参数辨识方法。本文建立了柔性关节伺服系统,分析了关节力矩反馈（JTF,Joint Torque Feedback）的振动控制原理,基于辨识的柔体动力学模型,提出实时关节力矩估计算法,进而实现关节力矩反馈控制。本论文提出了结合自适应输入整形和笛卡尔轨迹规划的前馈振动控制方法,先介绍了输入整形器的抑振原理,分析了典型的基于模态参数辨识的整形器设计方法的不足,基于递推最小二乘法（RLS,Recursive Least Squares）,推导了仅利用时域振动信号的任意时延输入整形器的自适应设计的计算方程,对笛卡尔轨迹规划插补函数整形,提出了无轮廓误差的笛卡尔轨迹整形方法。本论文基于欧拉-伯努利梁（Euler–Bernoulli beam）理论,建立了柔性负载的振动微分方程和频率方程,通过拉格朗日方程,建立了柔性负载伺服系统的传递函数,分析了加速度反馈的振动控制原理。为解决实时测量加速度信号的噪声问题,基于Kalman滤波和实时均值滤波设计了实时降噪滤波算法。本论文以六自由度工业机器人构建了实验平台,对柔体动力学模型、关节力矩反馈控制、笛卡尔轨迹整形前馈控制、柔性负载的加速度反馈振动控制四个方面进行了实验验证。实验中,辨识了柔体动力学模型,得到前三关节的动力学参数;以高速的圆弧和直线轨迹为测试轨迹,基于已辨识的动力学参数进行实时关节力矩估计,实施了关节力矩反馈控制,验证了其能抑制启停时的末端振动;利用时域振动信号自适应设计了圆弧和直线轨迹的整形器,并实施了笛卡尔轨迹整形前馈控制,验证了其能在无轮廓误差条件下,有效地抑制启停时的末端振动;在机器人末端安装柔性负载进行相关验证实验,模态频率测试实验验证了频率方程的正确性,加速度降噪实验验证了实时降噪算法具备良好的滤波效果,为研究外力作用和机器人轨迹运动下的柔性负载振动控制情况,加速度反馈控制实验分别在机器人静止和机器人运动状态下实施,实验结果均表明加速度反馈具备良好的主动振动控制性能。