MEMS高g值压阻式加速度传感器广泛应用于冲击测试、爆炸、引信等领域,是导弹侵彻、冲击试验等必不可少的惯性测量器件。因为MEMS高g值加速度传感器应用环境比较恶劣,所以MEMS高g值加速度传感器应该具备较高的量程、较宽的带宽及优良的可靠性。研发高性能的高g值加速度传感器对增强国防实力、打破国外封锁具有重要的战略意义。论文将MEMS高g值压阻式加速度传感器作为研究对象,主要研究内容如下:(1)深入研究了压阻效应,介绍了MEMS高g值加速度传感器,主要包括了传感器的结构、工作原理、加工工艺及封装等。(2)对MEMS高g值压阻式加速度传感器的动态特性进行理论分析,将高g值加速度传感器等效为弹簧—阻尼—质量块系统,深入分析了该系统的固有频率,并研究了MEMS高g值加速度传感器的空气阻尼,推导了系统的阻尼比计算公式,分析了阻尼比的影响因素,并理论计算了加速度传感器的固有频率和阻尼。(3)使用ANSYS软件对MEMS高g值加速度传感器进行有限元仿真分析,深入分析了加速度计的材料特性,并建立了有限元模型,对其进行了静态仿真,通过模态仿真分析了传感器的振型,并进行了谐响应分析及瞬态动力学仿真分析,验证了结构的合理性,通过瞬态动力学仿真分析了梯形梁对加速度传感器结构的影响,并确定了压敏电阻的位置,通过ANSYS仿真和MATLAB建立了传感器的输出电压与加速度的关系模型,完成了灵敏度分析。(4)设计了MEMS高g值压阻式加速度传感器外围调理电路,进行了零点输出测试。