【摘 要】
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本文对脉冲偏压电弧离子镀(TiMe)N多元复合硬质薄膜进行了研究,选用电负性与Ti元素存在不同程度差异的过渡金属Nb、Cr、Zr作为添加元素,在其它工艺参数相同的条件下,通过调节
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本文对脉冲偏压电弧离子镀(TiMe)N多元复合硬质薄膜进行了研究,选用电负性与Ti元素存在不同程度差异的过渡金属Nb、Cr、Zr作为添加元素,在其它工艺参数相同的条件下,通过调节脉冲偏压幅值来定性改变沉积粒子的能量,在高速钢试样表面制备了(TiMe)N多元复合薄膜,并对膜层的相结构及性能进行了分析和测试.结合化合物的热力学相关理论,讨论了在薄膜沉积过程中,脉冲偏压强度即沉积粒子能量对膜层成分、相结构及性能的影响.
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