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随着超精密加工等高新技术工业领域的进一步发展,其对有关设备的运行和定位精度提出了更高的要求,因此对微定位器的研究得到了越来越多的关注和投入。而压电致动器由于具有位移分辨率小、刚度大等优点,成为当前精密定位系统中较合适的致动器件。但压电致动器中还具有迟滞、蠕变等非线性现象,这些特性会降低微/纳米定位系统的位移精确度。而迟滞现象是影响系统精度的最主要原因,故为了获得纳米级的定位精度和理想的系统动态响应特性,对该迟滞非线性现象进行了深入研究,在此基础上对迟滞进行数学建模并设计了相应的控制器。本文介绍了实验