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微全分析系统是分析仪器发展的重要方向与前沿。它将试验样品的制备、生化反应和结果检测三个步骤集成在单一器件上,能执行特定的分析功能。近年来,光印制技术、微加工技术、计算机辅助设计(CAD)的不断发展,使得加工微芯片上精细结构变得比较简单,同时加工费用又相对低廉,这使得微全分析系统的大规模的商业化成为可能。虽然微全分析系统具有种种优点,但要达到真正的实用化目的它还必须克服许多技术上的困难,最为具体的便是要提出系统的加工与集成的一整套现实可行的方法。作为一种新型的微图形复制技术,软光刻