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本文采用直流磁控溅射技术在玻璃基体上制备了不同Ag含量的Ag-ITO纳米颗粒复合薄膜,并在大气气氛不同温度下进行了退火处理。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜和原子力显微镜分析了复合薄膜的微观结构。X射线衍射分析表明:Ag-ITO纳米颗粒复合薄膜中,ITO组分仍保持In2O3的体心立方结构,未观察到Ag的衍射峰;随着退火温度从200升高至400℃,vol.0.3%Ag-ITO复合薄膜中ITO组分的晶格常数从11.75减小到11.71A,晶粒尺寸从18.1增大到18.6nm;3