太赫兹波具有优良的穿透性、方向性以及宽频带,在国防、安检成像、超高速无线通信、生物医学和空间探测等领域具有潜在应用。近年来,半导体材料技术和微纳加工工艺的飞速发展,带动了稳定太赫兹发射源和探测器技术的进步,使得太赫兹波的受到了越来越多的关注,相关的太赫兹波传输控制器件也得到了飞速的发展。液晶通过外加电场或磁场的激励,可使自身的双折射率发生变化,液晶在太赫兹波段仍具有相当的介电各向异性,使其在太赫兹领域有着广泛的应用前景。基于液晶的滤波器、移相器、反射阵列天线等液晶电控调制器件成为研究热点之一。本文开展了基于液晶的太赫兹电控可调器件的研究与器件制作工作,构建了用于太赫兹传输器件S参数测试的实验平台,测试了器件的在太赫兹频段的传输特性。主要研究内容如下:1.构建适用于太赫兹传输器件的实验平台,基于太赫兹矢量网络分析仪及ABS材料完成了 S参数测量平台的搭建,同时采用LabVIEW设计了一套远程控制测量系统,可用于器件的反射、透射和多角度入射等情况下测试。2.开展了太赫兹反射式移相器的研究工作,介绍了反射阵列移相单元的移相原理和设计方法,设计出了双偶极子反射移相器单元结构,采用光刻及湿刻蚀法完成了 30×30的移相器阵列的加工。灌装向列型液晶材料,在330GHz实现331°的相移。为了提高液晶的取向度,增大器件移相范围,提出一种辅助电极实现偏置电压加载。3.开展了基于液晶的太赫兹可调谐超材料吸波体的研究与设计工作,在4×4 cm2的石英衬底上完成了 25×25单元结构的超材料吸波体的制作,实验结果表明通过调整液晶层的偏置电压,谐振频率可以从110.9 GHz移动到103.8 GHz,频率可调率达到6.4%,吸收率均高于90%。