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海洋重力测量是一种恢复中高频段地球重力场的有效手段,可以在任意区域快速经济地获取高精度、大面积、高分辨率的重力场数据,在大地测量、资源勘探以及军事等领域具有重要作用。 本论文以中科院测量与地球物理研究所20世纪80年代研制成功的CHZ型重力仪为研究对象,分析了海洋重力测量的基本理论,重点对高精度电容测微系统进行了介绍和研究,着重探讨了影响电容测微系统精度主要因素及精度提高的方法。这些研究对测地所正在进行的CHZ型海洋重力仪改进及海空重力仪的研制有着重要的意义。论文的主要内容为: 1)对精密位移测量的电容法原理做了较为系统、详尽的分析与阐述;对影响电容传感器输出特性的因素进行了理论分析与计算,对其结构尺寸进行了优化与设计。 2)对重力测量的基本原理及国内外具有代表性的重力仪测量系统进行了介绍。介绍了CHZ型海洋重力仪的结构及工作原理,对仪器的重要零件—电容测微系统、零长弹簧等进行了介绍。 3)进行了电容传感器结构设计,运用DDS技术设计高稳幅正弦振荡激励源,运用matlab-simulink进行仿真,设计并实现了正弦激励的实际电路,运算放大检测电路、锁相放大电路等得以改进,同时研究了电缆电容屏蔽技术,分析并验证了各个改进部分的结果,分析了仪器误差的主要来源,提高了系统的稳定性和可靠性。 4)利用电容测微技术,设计了一款高精度的差动电容微位移传感器,对重力传感器的位移量进行检测,并转化成电信号,进而测量出重力值。本文完成了差动电容传感器系统的整体设计,并分别对各部分电路进行了详细的阐述。