【摘 要】
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本文研究了毫米波CMOS集成电路的若干关键技术，采用标准0.18μm 1P6M CMOS工艺建立了微带线和共面波导模型，研究了高频平面螺旋电感的设计方法和探讨了毫米波段传输线结构用作
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本文研究了毫米波CMOS集成电路的若干关键技术，采用标准0.18μm 1P6M CMOS工艺建立了微带线和共面波导模型，研究了高频平面螺旋电感的设计方法和探讨了毫米波段传输线结构用作电感的可行性，并建立了MOS场效应晶体管的模型。在传输线部份，首先对微带线的结构和传播机理进行了详细的描述，给出了等效电路模型和参数提取方法，最后进行电磁仿真，得到两种不同特性阻抗的微带线模型；在电感的研究部分，为了增加片上螺旋电感的感值、Q值以及提高电感自谐振频率所做的工作，最后用传输线中的共面波导与之相比较，得出传输线结构在毫米波段实现精确小电感的可行性。
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