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在科学技术高速发展的时代,许多电子机械器件逐渐向微型化、多功能集成化、质量轻、智能化的方向发展,促使微电子机械系统(mircroelectromechanical system, MEMS)和纳电子机械系统(Nanoelectromechanical system, NEMS)的出现,并且受到各方的广泛关注。微电子机械系统尺寸微型化后,器件之间的间隙非常小,通常处于纳米级范围内,相对滑移表面之间的摩擦及磨损行为对微电子机械系统的稳定性和可靠性产生很大的影响。降低器件表面的粘附力,减小摩擦,改善抗磨损性能是确保微电子机械系统高速稳定运转的关键问题。材料表面改性被认为是解决这一关键问题的有效途径,其中近二三十年发展起来的分子自组装技术为解决这一难题提供了新的思路目前,由于单晶硅在MEMS中普遍应用,有机硅烷在单晶硅基片上的自组装膜的摩擦磨损性能研究得到广泛关注。研究结果表明:有机硅烷自组装膜能够有效降低单晶硅表面的粘附力,起到减摩降磨的效果,但其抗磨损性能不尽如人意。为此,我们将自润滑性能良好的无机纳米粒子组装到具有活性官能团的有机分子自组装膜表面,形成有机-无机复合自组装膜,以期提高自组装膜的抗磨损性能。采用湿化学还原法制备得到尺寸均一的Au溶胶,然后利用巯基(-SH)与Au之间能够形成共价键的作用,将Au纳米粒子组装到3-巯基丙基三乙氧基硅烷(MPTS)组装膜表面,形成MPTS/Au复合自组装膜。用X射线光电子能谱仪测定薄膜的化学成分;用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌;用接触角测量仪测量薄膜的接触角;在摩擦试验机上考察薄膜的摩擦学性能,并分析了自组装膜摩擦学性能与表面形貌、表面性质之间的关系。水在MPTS薄膜上的接触角随着组装时间的增加先增加后减小然后再增加,表明MPTS分子在单晶硅基片上的自组装是逐层进行的,当MPTS完成一层组装时,其薄膜表面自由能较低,所表现出的接触角较大;薄膜的摩擦磨损性能与接触角成对应关系,接触角增大,摩擦因数减小,抗磨损能力提高。Au纳米粒子在MPTS薄膜上组装后,使得水在薄膜表面的接触角增大,自由能降低,表面粗糙度有所下降,摩擦系数减小,耐磨性能得到极大的改善。我们还从化学热力学角度分析了Au纳米粒子在MPTS薄膜表面组装的可能性,并根据接触角随组装时间的变化,从化学动力学角度分析了Au纳米粒子在MPTS薄膜表面自组装的可行性。此外,我们还试验将十八烷基三甲氧基硅烷(OTS)分别与3-胺基丙基三乙氧基硅烷(APTES)和3-巯基丙基三甲氧基硅烷(MPTS)组合,在羟基化单晶硅基片上制备得到分子碳链不同、端基不同的双组分有机自组装膜,比较了双组分有机硅烷自组装膜与单组分自组装膜的不同,考察了双组分有机硅烷自组装膜的摩擦学性能随载荷、滑移速度的变化情况。APTES、MPTS、OTS及OTS/APTES, OTS/MPTS都能有效地减小基片的摩擦。在法向载荷为20g,滑移速率为2mm/s的测试条件下,单晶硅基片的摩擦系数是0.76,APTES薄膜的摩擦系数是0.25,MPTS薄膜是0.2,OTS薄膜为0.06,OTS/APTES双组分薄膜为0.06,OTS/MPTS双组分膜为0.06。APTES与MPTS薄膜的耐磨损性能较差,很快被磨穿。OTS薄膜及其复合膜的减摩降磨效果都很好,试验周期内其摩擦系数都保持不变,尤其复合膜的摩擦系数波动很小,稳定性比OTS单组分膜更佳。该论文有图51幅,表8个,参考文献172篇