有机发光二极管（OLED）等显示器件向柔性发展的趋势加速了薄膜封装技术的发展,其制备的薄膜阻隔水、氧的能力与器件稳定工作的寿命息息相关。OLED器件稳定工作10000小时所需封装薄膜对水的阻隔性能要低于1×10-6g/m2·day,同时封装薄膜渗透率的测量周期也影响着薄膜封装技术的研发周期,所以亟需可以高灵敏、准确、快速测量封装薄膜水渗透率的设备。本文设计了基于质谱法的水渗透率测量方法,并结合理论提出渗透测量模型来缩短测量周期,致力于高灵敏、快速、准确地测量薄膜的水渗透率。（1）通过对薄膜气体渗透理论展开研究,设计出静、动态两种测量模式,并给出静、动态测量模式下的渗透测量模型。在理论指导下,设计并搭建出基于质谱法的气体渗透率测量设备,包括进气系统、样品夹持系统、检测系统、真空获得系统、烘烤系统和控制系统等,实现对薄膜气体渗透率的测量和理论支持。（2）通过选取标准聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）薄膜并用满足美国国家标准与技术研究院（NIST）标准MOCON设备进行测量用作质谱法测量设备测量数据的校准。分别在静、动态测量模式下对水渗透过薄膜展开实验并校准,得到设备在静态模式下水渗透率测量极限为6.13×10-4g/m2·day。通过比对氦气和水在动态测量模式下渗透率与进气压强的关系,得到设备动态模式下水渗透率测量极限在10-7g/m2·day量级。（3）基于渗透测量理论的研究和渗透测量曲线的获取,通过对静态模式下测量信号变化率的分析来得到速度拐点值,结合理论预估出稳态渗透率。同时针对静、动态渗透测量模型,通过拟合不同渗透时间的数据来验证模型,同时给出模型基于不同渗透时间数据预估的可靠性和相关渗透参数。针对实际应用场景,利用质谱法测量设备进行测量,并结合老化测试结果进行比对,说明质谱法测量设备的高灵敏、准确快速测量特性。