准分子是一种仅在激发态存在的理想高效激光介质，自成功获得激光输出以来，准分子激光技术发展迅速。由于波长短、脉冲能量高等优点，准分子激光在集成电路光刻、医疗以及精密加工等领域得到了广泛应用。复合腔与单腔结构输出窄线宽激光相比，其在输出能量、转换效率方面得到较大提高，且结构紧凑，可满足窄线宽、大能量准分子激光的应用需求。本文首次对准分子激光器复合腔技术展开深入研究，进行理论分析并开展相关实验工作。　　本文首先简要回顾了准分子激光器的发展进程，并结合课题的研究背景及意义，对窄线宽、大能量准分子激光技术的研究现状以及国内外复合腔技术的研究进展进行综述分析。之后重点研究了干涉仪型复合腔结构的选模原理及等效简化模型，在此基础上结合线宽压窄技术方案设计了准分子激光器复合腔结构，并针对准分子激光器的自身特性，提出了实现其复合腔锁定的解决方案。　　其次开展了准分子激光器复合腔的实验研究。实验结果表明，与单光栅选频腔相比，锁定后的复合腔输出激光在基本保证窄线宽的基础上能量提高了近4倍，且能量稳定性大幅提高。在主流准分子激光器线宽压窄腔基础上搭建复合腔，可降低腔内损耗，利用单放电腔即可同时实现窄线宽、大能量的激光输出。　　最后，对可能影响准分子激光器复合腔锁定的因素进行了分析。对比实验结果表明，复合腔中两腔腔长、能量、线宽的比值大小会影响复合腔的锁定效果。而准分子激光增益谱内中心波长的改变基本不影响复合腔的锁定，在光栅的调谐范围内均可实现窄线宽、大能量的准分子激光输出。