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W掺杂Li3PO4陶瓷靶材的制备及其性能研究

来源 :深圳大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qichen1988

【摘 要】

：

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【作 者】

：

彭伟 

【出 处】

：

深圳大学

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

W-Li3PO4靶材 掺杂 烧结 LiWPON薄膜 

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