本论文主要是研究准分子激光的光束均匀性及线宽压缩,具体内容包括准分子激光的光束均匀性实验和线宽压缩实验.准分子激光具有波长短、脉冲功率密度高、脉宽窄及弱相干性等优点,在半导体工艺及微电子微光学工业领域中具有广泛的应用前景.为了更好的满足其应用要求对其输出光束质量进行改善是很有必要的.第一章综述了准分子激光器的工作原理,对各种改善准分子激光输出光束均匀性的方法和线宽压缩方法进行了概述.详细讨论了各种均匀方法的工作原理及其改善效果和优缺点;介绍了纵模选择的思想及方法和各种通过在腔内添加色散元件进行线宽压缩方法的原理.第二章主要研究了对308nmXeCl准分子激光器输出光束均匀性的改善问题.首先研究了准分子激光器本身充气气体混合比例对输出光束均匀性的影响,并通过实验得到了最佳混合气体比例,在此比例下得到了均匀性最好的原始输出光斑;在最佳输出光束均匀性的基础上研究了各种均匀器对准分子激光光束质量的改善,分析了各种均匀器的工作原理,应用于308nmXeCl准分子激光,均匀改善后的光强起伏小于±2﹪,并对各种均应器的改善效果及优缺点作了比较.第三章主要研究了各种准分子激光线宽压缩方法.首先介绍了各种在腔内添加色散元件对线宽进行压缩方法的工作原理,分析了各种方法的优缺点及各自的适用范围;理论上推导了标准具压缩线宽的原理及用标准具照相法测量线宽的方法,讨论了标准具本身构造系数对测量线宽下限的影响,并应用于308nmXeCl准分子激光,原始线宽实验结果与实际光谱线宽相符,且输出光束压缩线宽达到了pm量级.