光束整形异形元件的加工工艺研究

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近年来在光学制造领域中,大小不同、形状各异的非球柱面镜在军用和民用产品上得到了广泛的应用。为了达到非球柱面镜更高的加工精度,解决这一光学元件加工领域面临的难题,对非球柱面镜的加工工艺进行深入的研究。本文采用古典与现代制造技术相结合的方法,研制了用于光束整形的异形元件,该异形元件是由非球柱面镜和柱面镜所组成。根据非球柱面镜面型难以控制的问题,给出了独特的菱形抛光模结构设计。使用轮廓仪进行面形检测和误差分析。实验结果表明,整形元件非球柱面镜面型误差P-V值为0.8787μm,曲率半径为R为33.26mm,柱面镜的曲率半径R为37.06mm。各项数据均满足光学零件的使用要求。
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